Sala Blanca de MNT

Funcionalidades

El laboratorio de micro y nanotecnologías es una sala blanca de clase 1000 para la fabricación de dispositivos micro y nanoelectrónicos (clase 100 en algunas áreas críticas).

Listado de equipos

El laboratorio de micro y nanotecnologías es una sala blanca de clase 1000 para la fabricación de dispositivos micro y nanoelectrónicos (clase 100 en algunas áreas críticas). Está provisto de varios equipos para el depósito y crecimiento de materiales, así como dos alineadores para litografía y equipos de caracterización de dispositivos. La investigación del laboratorio se centra en una variedad de ámbitos (células solares fotovoltaicas, sensores para la exploración planetaria, nanopartículas, cristales fotónicos, tecnologías de manipulación de líquidos a escala micrométrica, etc.).

Listado de servicios y tarifas

Servicios científico-técnicos. Acceso Philab

• Sputtering: 75,36 euros / hora
• Evaporación: 83,38 euros / hora
• PECVD: 69,59 euros / hora
• ALD: 59,37 euros / hora
• Fotolitografía: 77,84 euros / hora
• Uso de la sala limpia (con personal): 430 euros / día
• Uso de sala limpia (sin personal): 220 euros / día

Contacto

newspacelab@ieec.cat