Plataforma de Fabricación y Caracterización de Nano-Fotónica, Materiales Nano-Optoelectrónicos y Bio-Nano-Materiales (NM3)

Partner

ICFO

Localización

Parc Mediterrani de la Tecnologia, Avinguda Carl Friedrich Gauss, 3, 08860 Castelldefels, Barcelona

Funcionalidades

Esta plataforma se centra en la fabricación y caracterización de nanofotónica y nanooptoelectrónica, contando con 600m2 de salas blancas equipadas para micro/nanofabricación, herramientas de nanocaracterización, microscopía óptica de superresolución, laboratorios de química y post-procesamiento, y servicios avanzados de ingeniería mecánica y electrónica.

Listado de equipos

SEM-FEG FEI Inspect F50 (+ Raith Elphy Plus)
EBL CRESTEC CABL-9510C
SEM FEI Quanta 200 (+ Raith Elphy Quantum)
Heidelberg MLA 150
Evaporator Leybold Univex 350
Evaporator Lesker LAB18
Sputtering AJA Orion 8 HV
ALD Cambridge Nanotech Savannah 200
Coater Leica ACE 600
RIE Oxford Instruments Plasmalab System 100
ICP 180
PVA TePla 300 SEMI-AUTO
FIB Zeiss Auriga CrossBeam
FIB Zeiss Orion NanoFab

https://www.icfo.eu/research/facilities/nm3

Listado de servicios y tarifas

FEI + RAITH	Electron Beam Lithography	73,30 €
CRESTEC	Electron Beam Lithography	80,20 €
FEI + RAITH	Electron Beam Lithography	96,60 €
HEIDELBERG	Optical Maskless Lithography	65,30 €
LEYBOLD	Thin Film Deposition	41,60 €
KURT J. LESKER	Thin Film Deposition	46,40 €
AJA	Thin Film Deposition	38,40 €
CAMBRIDGE NANOTECH	Thin Film Deposition	28,70 €
LEICA	Thin Film Deposition	25,90 €
OXFORD INSTRUMENTS	Dry Etching	104,50 €
PVA TePla	Dry Etching	23,00 €
ZEISS	Focused Ion Beam	113,80 €
ZEISS	Focused Ion Beam	133,70 €